Установка для получения особо чистой воды

На предприятиях по производству микроэлектроники используется особо чистая вода. Ее классифицируют по стандарту ОСТ 11.029.003-80 Вода деионизованная на 3 типа: класс А, класс Б и класс В. Класс А имеет наивысшую степень чистоты с удельным сопротивлением 18 МОм•см.

Как получить особо чистую воду

Для подготовки воды такого класса чистоты требуется станция для получения особой чистой воды, состоящая из целого комплекса фильтров. В нашем случае у заказчика уже ранее была установлена система предочистки, позволяющая подавать очищенную воду соответствующего качества на установку обратного осмоса. Исходя из этого, получилась следующая схема.

Исходная вода накапливается в буферную емкость, откуда с помощью насосной станции забирается и подается на систему обратного осмоса DRO 4040-1 производительностью 250 л/час. Пермеат собирается в емкость для очищенной воды 500 л. Стоит отметить, что насосная станция, подающая воду на осмос, состоит из 2 насосов: рабочий + резервный.

Далее осмотическая вода поступает на модуль электродеионизации производительностью 250 л/час. На модуле ЭДИ вода получается деионизованная, электропроводность контролируется кондуктометром, установленным на модуле электродеионизации. Часть воды идет на промывку модуля и сбрасывается в канализацию.

Полученная деионизованная вода накапливается в емкости 1000 литров с коническим дном. Эта емкость установлена на петле рециркуляции. Вода из емкости забирается насосной станции, также состоящей из 2 насосов, и проходит через 3 фильтра смешанного действия (ФСД). В фильтрах ФСД в качестве загрузки используем ионообменную смолу M-Pure-600. Вода проходит через ультрафиолетовый стерилизатор, стерилизующий микрофильтр, имеет узел регулировки скорости потока в петле рециркуляции. На петле рециркуляция есть блок контроля электропроводности для контроля качества воды.