г. Электросталь, 2017

Линия очистки воды для микроэлектроники

В конце 2017 года наша компания поставила линию очистки воды для микроэлектроники на один из закрытых подмосковных заводов. В состав линии входит следующее оборудование:

• Насосная станция предварительного повышения давления DPS-4;
• Механический дисковый предфильтр 130 мкм;
• Два осадочных фильтра DFS 1354;
• Два фильтра угольных DFC 1354 для удаления из воды органических загрязнений и хлора;
• Дозация ингибитора осадкообразования (антискаланта) для установки обратного осмоса;
• Двухступенчатая установка обратного осмоса DRO2-4040-7 с промежуточной емкостью (применение технологии двухступенчатого обратного осмоса позволяет существенно снизить затраты на замену финишных ионообменных смол (смол смешанного действия). Производительность установки по пермеату второй ступени (по очистой воде) порядка 700 л/час;
• Накопительный бак 6000 л;
• Насосная станция с блоком фильтров смешанного действия. В фильтрах смешанного действия загружена ионообменная смола Lewatit NM60, которая наилучшим бразом подходит для получения глубокодеминерализованной воды для электронной промышленности.

Три аналогичные системы уже ранее поставлялись на данное предприятие в разные цеха за несколько лет.

При проектироване и подборе системы очистки воды были учтены все требования и факторы получения ультрачистой воды для мироэлектроники:

Система предварительной очистки воды (осадочные и угольные фильтры, дозирование ингибитора осадкаобразования) подобрана таким образом, чтобы обеспечить бесперебойную работу всей системы водоочистки в целом с гарантированным качеством очищенной воды. Кроме того предварительная подготовка воды позмоляется снизить время межсервисных интервалов и увеличить срок службы мембранных элементов в установке обратного осмоса.

В данной системе реализованы азотозаполнение накопительных емкостей и финишная стерилизующая микрофильтрация, препятствующие посторонним загрязнениям и поподанию микроорганизмов. Это позволяет поддерживать качества ультрачистой воды не только на стадии получения, но и на стадиях хранения и раздачи потребителю.

Немаловажным фактором является полная автоматизация системы водоподготовки с полным мониторингом и контролем различных параметров на всех этапах получения ультрачистой воды.